先进数字成像解决方案领先开发商豪威科技(OmniVision Technologies,Inc.)近日推出了革命性的近红外(NIR)技术-夜鹰Nyxel。此项技术成功使用新型硅半导体架构和工艺解决了目前图像传感器近红外检测领域面临的挑战。相比豪威科技的传统近红外传感器,使用夜鹰Nyxel技术的产品在850nm波长处的量子效率(QE)可增加高达3倍,在940nm处增加更是高达5倍。近红外灵敏度的这些改进使得豪威的图像传感器能够在相同的近红外光量下成像更清晰、更远;并且可以检测到更远的成像区域。同时,为了匹配目前系统的低耗能需求,使用夜鹰Nyxel技术的成像系统减少了对LED灯的需求,从而降低总体功耗。凭借这些优势,夜鹰Nyxel技术可适用于许多应用领域,如监控、汽车以及机器视觉摄像头等。
目前市场上的机器视觉和夜视摄像机应用主要依靠近红外成像技术,因为近红外成像可以捕捉到可视光谱之外的物体;另外可以帮助避免可视光对周围境的任何干扰。此外,夜间含有比可见光子更多的近红外光子,因此夜鹰Nyxel技术可以在夜间进行更高分辨率的图像捕获而无需很多耗电的LED灯,从而成为夜视和电池供电的安防摄像头应用的理想解决方案。在此之前,传统的近红外检测方法远远不能满足汽车和安全摄像机应用所需求的高灵敏度,以及新型移动设备和具有嵌入式机器视觉应用的高性能需求,例如增强现实(AR)和虚拟现实(VR)产品。夜鹰Nyxel科技提供了超越现有近红外技术的性能,能够满足下一代应用更高、更严格的要求。
“传统的近红外成像方法仅依靠厚硅来改善近红外图像传感器的灵敏度。然而,这种方法会导致串扰并降低了调制传递函数(MTF)。通常业界通过引入深沟槽隔离(DTI)来尝试克服这一点,但结果往往会造成破坏图像黑暗区域的缺陷。”豪威科技工艺工程副总裁Lindsay Grant解释道, “然而豪威科技通过与我们代工厂伙伴的独家合作来克服这些挑战,并在其300mm晶圆上使用该技术,初步成果非常可观,目前我们的原始设备制造商客户们都对此项技术产生了极大的兴趣。”
夜鹰Nyxel科技的原理是将厚硅像素架构与扩展DTI相结合,从而改善QE,再通过悉心管理操作晶圆的表面纹理,以保持调制传递函数,并不影响传感器的暗电流。使用夜鹰Nyxel科技的产品与使用豪威科技OmniVision的传统近红外产品相比,在850波长的灵敏度提高了3倍QE,940nm波长的灵敏度提高了5倍QE,同时保持了所有其他图像质量指标。这些近红外图像敏感度改进能够提供无与伦比的高图像质量,增长图像检测范围以及降低光源要求,从而降低功耗。