臭氧发生器是一种用来制取臭氧的装置。臭氧容易分解，不能储存，需要现场准备和使用（特殊情况下可以短时间储存）。因此，在所有可以使用臭氧的地方都应该使用臭氧发生器。臭氧发生器广泛应用于饮用水、工业氧化、食品保鲜、空间杀菌等领域。臭氧发生器产生的臭氧气体可以直接利用，也可以通过混合装置与液体混合参与反应。
臭氧发生器的杀菌机理和过程属于自然过程，臭氧氧化并区分细菌外葡萄糖氧化所必需的葡萄糖氧化酶。臭氧可以直接作用于细菌和病毒，粉碎它们的细胞器，区分DNA、蛋清物质、脂类、多糖等大分子聚合物，使细菌物质代谢的生产和繁殖过程粉碎。
因为臭氧的主要作用是消毒杀菌，所以臭氧浓度的控制尤为重要。那么臭氧发生器作为臭氧制取装置应该如何控制臭氧的浓度呢？
随着技术的不断发展，臭氧浓度检测的方法和仪器也在不断变化。目前，根据这些检测方法开发生产的产品有很多，如臭氧传感器、臭氧模拟输出模块、臭氧检测仪等。
目前很多臭氧发生器会带有臭氧检测模块，可以很直观的体现出O3浓度情况，比如美国SPEC Sensors 空气质量 臭氧模拟输出模块 － ULPSM－O3 968－005，快速地将臭氧传感系统集成到您的系统中，并且使用非常低的功耗和一个简单的模拟传感器信号输出。ULPSM将臭氧传感器的线性电流信号输出转换为线性电压信号，同时保持传感器在理想的有偏差的操作环境下。
