SiC薄膜压力传感器以SiC薄膜为基材制成,为薄膜压力传感器代表产品。
压力传感器种类丰富,主要包括薄膜压力传感器、陶瓷压阻式压力传感器、金属应变片粘贴式压力传感器、差压电容式压力传感器等。薄膜压力传感器,指基于弹性膜片制成的能将机械压力转换为电信号的装置。薄膜压力传感器具有抗干扰力强、精度高、灵敏度高等优势,主要应用于机械制造、航空航天、矿产开采等领域。
薄膜压力传感器主要包括半导体薄膜压力传感器、合金薄膜压力传感器两种类型。半导体薄膜压力传感器可细分为金刚石薄膜压力传感器、SiC薄膜压力传感器以及多晶硅薄膜压力传感器;合金薄膜压力传感器可细分为钯铬合金薄膜压力传感器、镍铬系合金薄膜压力传感器以及铂钨合金薄膜压力传感器等。SiC薄膜压力传感器以SiC薄膜为基材制成,为薄膜压力传感器代表产品。
薄膜制备技术为薄膜压力传感器核心技术,包括化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、脉冲激光沉积(PLD)以及溶胶-凝胶等。脉冲激光沉积指利用高功率脉冲激光束对靶材表面进行照射,进而形成薄膜,该技术具备薄膜沉积速度快、参数易控制、成品质量好等优势,未来有望在薄膜压力传感器制备过程中获得广泛应用。
根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年薄膜压力传感器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,薄膜压力传感器为压力传感器细分产品,在机械制造、航空航天、矿产开采等领域应用较多。在机械制造领域,薄膜压力传感器可用于控制模具压力;在航空航天领域,其可用于监测座舱压力、发动机内部压力以及空气动力参数等;在矿产开采领域,其可用于监测采矿设备、矿井环境等。
常州天策电子科技有限公司、中国电子科技集团有限公司、深圳国微感知技术有限公司、宇博智能科技有限公司、苏州能斯达电子科技有限公司、深圳嘉宇顺科技有限公司等为我国薄膜压力传感器市场主要参与者。能斯达推出的MD30-60柔性薄膜压力传感器,目前已在智能机器人以及人机交互领域获得应用。新思界行业分析人士表示,随着压力传感器行业景气度提升,薄膜压力传感器作为其重要分支,市场空间将不断扩展。受益于技术进步,我国薄膜压力传感器行业发展速度不断加快。受市场前景吸引,我国已有多家企业布局薄膜压力传感器行业研发及生产赛道,未来其市场竞争将日益激烈。
新思界产业研究院新思界致力做全面、专业的产业研究平台,建立以市场调查、行业研究、规划咨询等为核心的国内业务体系,以海外市场调查、海外公司选址与注册等为核心的海外业务体系为客户提供全方位的国内外产业咨询服务。
原文标题 : 【聚焦】薄膜压力传感器应用领域广泛 我国市场参与者众多