5 月 24 日,在第七届智能传感器产业发展大会上,安徽华鑫微纳集成电路有限公司宣布其 8 英寸 MEMS 晶圆生产线首批产品成功串线,标志着全国首条 8 英寸 MEMS 晶圆全自动生产线在蚌埠正式投入生产。这一突破性进展为我国智能传感器产业的自主化、高端化发展注入了强劲动力。
据了解,安徽华鑫微纳集成电路有限公司成立于2022年3月,肩负着优化安徽集成电路传感器产业布局的重要使命。公司聚焦 MEMS 晶圆代工领域,打造兼具技术前瞻性与市场适配性的柔性化制造平台,致力于让公司成为国内高品质MEMS智能传感器晶圆制造的领航者。
华鑫微纳 8 英寸 MEMS 晶圆生产线总投资达 50.6 亿元,占地 150 余亩,由芯的(上海)集成电路技术有限公司主导投资,落地于中国(蚌埠)传感谷,项目分二期建设,一期总建筑面积约75000平方米,主要包含生产厂房、动力厂房、生产研发楼、仓库等。
作为国内领先的 MEMS 晶圆代工平台,华鑫微纳打造的这条生产线具备高度灵活性与兼容性,集成了硅基 MEMS、压电 MEMS、CMOS-MEMS 单片集成及 2.5D/3D 微系统集成等先进技术,形成了研产协同的完整体系。其产品覆盖惯性传感器、压力传感器、光 MEMS 执行器、环境传感器、喷墨打印头等多元领域,规划实现每月 3 万片的 8 英寸 MEMS 晶圆制造能力,为全球智能传感器企业提供强力支撑。
华鑫微纳以 “开放式、定制化 MEMS 代工平台基地” 为定位,此次生产线的投产意味着智能传感器核心部件 ——MEMS 芯片的国产化生产迈出关键一步。通过蚌埠基地的产能释放,不仅可保障产业链供应链安全,还将大幅降低国内传感器企业的生产成本,提升本土产业链的国际竞争力。
中国传感器与物联网产业联盟常务副理事长郭源生透露,目前企业累计与 50 家客户达成合作意向,意向订单总计约 21 万片,另有 3 万余片晶圆合同正在洽谈中,将有效支撑 2025 年 1 万片达产。
随着这条全自动生产线的稳步运行,蚌埠正逐步成为国内 MEMS 芯片制造的重要基地,为我国智能传感器产业在物联网、智能制造、汽车电子等战略新兴领域的应用提供强大支撑,加速国产传感器技术自主可控的进程。